产品介绍：
本仪器配置特殊数字存储示波器，软件依照寿命测量基本原理编写，采用了国际标准（MF28 及MF1535）中推荐的几种读数方法。
数字示波器具有存储功能，应用平均采样方式，平均次数可选4、16、32、64、128、256 次，随平均次数的增加随机噪声被减小，波形更稳定、清晰。
微波光电导载流子复合寿命测试仪是参照半导体设备和材料国际组织SEMI 标准MF1535-0707 及国家标准GB/T 26068-2010设计制造。本设备采用微波反射无接触光电导衰退测量方法，适用于厚度为1mm 以下的硅片、电池片少数载流子寿命的测量，提供无接触、无损伤、数字显示的快速测量。寿命测量可灵敏地反映半导体重金属污染及缺陷存在的情况，是半导体质量的重要检测项目。
技术指标：
寿命测量范围：0.25μs～10ms；
电阻率下限：≥0.5Ω·cm，尚未发现电阻率测量上限。
型号：N 型或P 型单晶或铸造多晶。
红外光源波长：0.904～0.905μm；
外形尺寸：365×415×160mm
产品重量：13Kg
工作电源：～220V 50Hz
功耗范围：≤40W
基本配置：
100B寿命仪主机1台
专用数字示波器1台
信号线1条
校核片1片
156*156开方硅锭专用测试台1套
